FS4000微型空氣流量傳感器

產(chǎn)品時間：2021-08-27

簡要描述：

FS4000微型空氣流量傳感器是采用微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù)，專為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測量氣體質(zhì)量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）

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詳細(xì)介紹

FS4003流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測量范圍大到5SLPM；適用于粒子計數(shù)器和各類分析儀器。

FS4008流量傳感器，管道內(nèi)徑為8mm，測量范圍大到50SLPM；可用于麻醉設(shè)備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等

FS4000微型空氣流量傳感器產(chǎn)品特點:

- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設(shè)計

- 支持多種連接方式，易于安裝與使用

- 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量

- 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高

- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓

- 零點穩(wěn)定度高

- 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性

- 低功耗、低壓損

- 響應(yīng)速度快

FS4000微型空氣流量傳感器機械尺寸:

性能參數(shù)	FS4003	FS4008	單位
通徑	3	8	mm
大流量	2, 3, 4, 5	10, 20, 30, 40, 50	SLPM
量程比	＞100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重復(fù)性	0.5		%
零點輸出飄移	±30		mV
輸出飄移	0.12		%/^oC
響應(yīng)時間	10（默認(rèn)、20、50、100、200、500、1000可設(shè)置）		ms
工作電源	8~24Vdc,50mA
輸出方式	線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
大流量壓損	100	600	pa
大工作壓力	0.5		MPa
工作溫度	-10 ~ +55		^oC
存儲溫度	-20 ~ +65		^oC
工作濕度	<95%RH（無結(jié)冰、無凝露）
機械接口	BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭
校準(zhǔn)方式	空氣（或其他氣體），20^oC，101.325kPa
重量	52（帶R1/4,BSPT1/4接口） 71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭)		g

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